[多选题]将单晶硅制成硅抛光片工艺包括:(  )
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2023-10-27 16:26:43
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[多选题]将单晶硅制成硅抛光片工艺包括:(  )

A.氧化
B.研磨
C.切割 
D.抛光 
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西南科技大学

电子信息工程专业导论

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