[单选题]硅片中磷扩散进行掺杂的原料是（ ）。
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2023-10-01 08:14:56|
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[单选题]硅片中磷扩散进行掺杂的原料是（ ）。
A.PH3
B.PH5
C.POCl3
D.B2O3
A.PH3
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C.POCl3
D.B2O3
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