[单选题]对三氯氢硅中痕量杂质的分析采用蒸发法使用微量高纯水和SiHCL3作用产生少量（ ）水解物，对痕量杂质元素有吸附作用。
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2023-10-01 08:08:22|
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[单选题]对三氯氢硅中痕量杂质的分析采用蒸发法使用微量高纯水和SiHCL3作用产生少量（ ）水解物，对痕量杂质元素有吸附作用。
A.SiO2
B.SiH
C.HCL
D.Si
A.SiO2
B.SiH
C.HCL
D.Si
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